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安捷倫高抽氣擴(kuò)散泵故障排查與解決方案

更新時(shí)間:2020-12-07點(diǎn)擊次數(shù):2595

安捷倫高抽氣擴(kuò)散泵故障排查與解決方案

油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4~10-5帕,工作壓力范圍為10-1~10-4帕,抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒(1升=10-3米3)。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備,廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。今天給大家?guī)淼氖前步輦愑蛿U(kuò)散泵的故障排查與解決方案。

 

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